재료공학 기초test(실험) - 면저항 측정 test(실험)
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작성일 24-03-25 00:07
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저항을 계산하는데 저항율보다 훨씬 쉽고 유용하게 사용된다
옴의 법칙에서 V = IR 이다. 여기서, ρ는 비저항인데 그러므로 면 저항은 얇은 박막의 두께에 대한 비저항을 가르키는 것이다. 그러므로 다시 말하면 전체 저항은 면저항과 Sheet number만 알면 쉽게 계산할 수 있게 된다
다음으로 면저항을…(drop)
① Van der Pauw`s method
② 4-Point probe method
3 실험결과
4.51mΩ
재료공학 기초test(실험) - 면저항 측정 test(실험)
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실험과제/재료
다. 이것을 다음과 같은 定義(정이)에 의해 다시 요점해 보자. 먼저 얇은 박막의 두께를 T라 하고 폭은 W, 박막의 길이를 L이라 할 때 거기에 흐르는 전류를 I라 한다 하고 위의 저항(R)의 식에 대입해 보면 다음과 같게 된다
그것의 저항 R = ( ρ / T )( L / W )인데 여기서 ( ρ / T )를 면저항 Rs라고 한다.설명
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면저항 측정(測定) 실험
